在半導(dǎo)體生產(chǎn)和制工業(yè)中,對空氣的潔凈度要求較高。典型的工作環(huán)境中,每立方英尺空氣中含有5個粒子,而半導(dǎo)體生產(chǎn)的要求是每立方英尺空氣中只有1個粒子。對于工廠排放的廢氣,要求 嚴(yán)格的是性。某些重金屬如汞、砷、鉻、鈹?shù)刃院艽?其排放限制非常嚴(yán)格。在空氣性方面,美國和德國已經(jīng)通過了新的更嚴(yán)格的立法。執(zhí)行新的立法后,空氣性的限制由原來的2mg/m3(標(biāo)準(zhǔn))降低到14mg/m3(標(biāo)準(zhǔn))。

　　采用查表法進行密度補償，能自動對過熱蒸汽、飽和蒸汽進行高精度的積算控制。內(nèi)置多種流量積算公式，可適應(yīng)各種流量測量場合。防盜型智能流量積算控制儀采用先進的微器進行智能控制，適用于各種液體、一般氣體、蒸汽、天然氣等介質(zhì)的流量檢測與積算控制。

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